近年来，随着高新技术产业的不断发展，半导体与微电子领域相关企业对贵金属靶材的纯度、均匀性、密度和导电性能要求越来越高，企业为了满足用户对薄膜和涂层材料的需求，不断提高产品性能。高纯贵金属靶材的制备工艺难度比较高，因此，价格上也相对较高，企业为降低成本，只能在质量检测上下功夫，及时发现产品的不良缺陷，最后在改进生产方式，从而减少不合格工件的生产，降低经济损失。

如何找到一种有效的无损检测方式，能够实现靶材内部缺陷检测。常见的无损检查方法有：X射线检测、超声检测、涡流检测、渗透检测等。采用喷涂、烧结制备的溅射靶材，此种工艺下的晶粒虽然尺寸较小，但是超声信号对这种缺陷较敏感，所以适合采用超声波技术来检测比较精准。

采声通过此技术原理研发出一套靶材超声成像系统，对靶材真空溅射镀膜质量进行评估。例如硅铝合金旋转靶材在不锈钢基管上等离子喷涂硅铝合金涂层，由于溅射厚度不同，容易发生溅射成膜密度不均匀，出现空洞等问题，在喷涂过程中，涂层表面可能会粘附未熔透的夹杂物，经过后续继续喷涂的不断叠加，形成孔洞缺陷，利用这套系统水浸式超声C扫描技术可以发现多种类型缺陷问题。

靶材超声成像系统

成像技术原理：

通过测量超声波在物体中的传播时间和距离，才可以检测并计算出被检材料的缺陷位置。超声波发射接收器产生特定频率为（5MHZ-70MHZ）的超声波，以去离子水为耦合介质向被检体传递。由于超声波的传递要求介质是连续的，所以在遇到像气泡、杂质，裂纹等不连续界面时会导致超声信号发生反射，当超声波信号通过被检体时，由于材料的不同，再有缺陷或裂纹界面或出现反射波，超声波换能器接收到反射的回波，发射接收器向数据采集卡输送，经过波形信号处理最终得到一张高分辨率超声波图像。

扫描结果如下:

左：靶材样品 右：C扫描成像图

右图结果可以清晰看到镀膜溅射分布不均匀的缺陷问题

采声靶材超声成像系统可对不同工艺类型进行缺陷检测，比如真空钎焊打造的靶材，我们来看看。

系统支持手动定位缺陷位置生成缺陷参数不良率

采声设备扫描优势：

采用自动扫描方式进行计量。（遵循美国ASTM E1065标准进行计量）非接触式探头，结合标准试块进行标准要求的各项参数测试。利用 XY或AB 轴作为平面或曲面运动，结合 Z 轴步进运动，同时结合两个自由度的探头旋转摆动轴进行角度调整，实现曲面扫描，球面扫描，球面超声波扫描成像，3D扫描成像，异形跟踪扫描。AB轴超声扫描根据不同位置的反射波进行扫描成像，并根据测量数据进行模拟计算的自动化系统。

采声自动化超声检测

北京采声科技有限公司是一家专业从事无损检测设备，工业自动化系统研发的高新技术企业，公司现有自动化超声系统有水浸超声，空耦超声，喷水超声等设备，近年来多次检测过航空航天大型板棒材、航材零部件、汽车轴套、新能源电池等诸多领域部件，覆盖了实验室型，工业重载型、机械臂结构及非标定制类。

企业现有：超声自动化研发制造、工程无损检测服务、大型装置在线监测和安全评价服务。具备武器装备质量管理体系认证、ISO9001质量管理体系、ISO14001环境管理体系、ISO45001职业健康管理体系；HSE健康、安全与环境管理体系（中石油/中石化）、GB/T27922售后服务五星管理体系及AAA级信用企业评级认证；依托于和国内外知名科研机构的良好合作关系汇集全球不同领域的顶尖技术，形成独特的解决方案，服务于行业需求；目标客户主要集中于航空航天、科研机构、高校实验室、能源化工行业、各级特检院及无损检测公司等。满足无损检测行业各类标准自动化检测的需求并提供高效的产品和服务，持续为中国工业发展做出应用的贡献。