在半导体薄膜沉积中有个非常重要的部件：陶瓷加热器（Ceramic Heater）可实现温度均匀分布，对硅晶圆加热反应生成薄膜，应用于半导体薄膜沉积设备如APCVD、LPCVD、PECVD等。全球陶瓷加热器主要由日本公司为主导，随着近年来我国对电子产品的大规模使用，陶瓷材料表现出了庞大的市场需求。工欲善其事必先利其器，国家已将集成电路上升到国家战略高度。因此不仅对陶瓷材料的工艺进行研究，如何判断陶瓷工件内部质量检测也是科研人员一直关注的问题！

氮化铝陶瓷加热器是一个典型的多层结构，薄膜沉积在制造工艺中十分重要。在这样一个多层结构中，每一层稍有缺陷都能直接造成封装工件报废，使良品率大大降低。在PECVD沉积设备中的加热器还作为射频地，利用陶瓷本身优异的抗腐蚀和耐高温的特点，在陶瓷内置电加热元件和射频地，形成一体化结构构成的陶瓷加热器。这种一体化主要应用于航空航天、船厂、化工、机械合金钢等结构件的预热和热处理，陶瓷材料可以在含等离子体腐蚀环境下具有优异的绝缘性。而在半导体领域中，陶瓷与内置加热元器件和硅晶圆之间热膨胀系数差异化，如参数未匹配好的情况下，在进行反复冲击会产生裂纹，气孔、分布不均等问题，就会造成封装后的加热器整体失效，因此，陶瓷加热器工艺质量检测非常重要。

氮化铝陶瓷加热器内部结构展示

超声水浸SAM是检测工件内部质量缺陷的无损检测设备；主要利用高频超声扫描成像技术，用高频超声探头对工件内部进行高精度扫描成像设备。广泛应用于材料内部检测、焊接质量检测、辨别材料内部如裂纹、分层、气孔、虚焊、空洞、夹杂等缺陷，系统软件可对缺陷进行定性定量分析，如缺陷尺寸、缺陷位置、缺陷深度等关键数据。

采声Caisheng高精度水浸超声设备

陶瓷材料检测案例

以下是采声科技超声水浸SAM 检测陶瓷工件的结果

陶瓷工件一：

陶瓷工件二：

从采声高精度水浸超声设备扫描出的图像中，我们可以明显发现陶瓷工件一内部有空隙缺陷；陶瓷工件二内部有点状气泡缺陷，边缘位置（红色）出现不良缺陷。

采声自动化超声检测

北京采声科技有限公司是一家专业从事无损检测设备，工业自动化系统研发的高新技术企业，公司现有自动化超声系统有水浸超声，空耦超声，喷水超声等设备，近年来多次检测过航空航天大型板棒材、航材零部件、汽车轴套、新能源电池等诸多领域部件，覆盖了实验室型，工业重载型、机械臂结构及非标定制类。

企业现有：超声自动化研发制造、工程无损检测服务、大型装置在线监测和安全评价服务。具备武器装备质量管理体系认证、ISO9001质量管理体系、ISO14001环境管理体系、ISO45001职业健康管理体系；HSE健康、安全与环境管理体系（中石油/中石化）、GB/T27922售后服务五星管理体系及AAA级信用企业评级认证；依托于和国内外知名科研机构的良好合作关系汇集全球不同领域的顶尖技术，形成独特的解决方案，服务于行业需求；目标客户主要集中于航空航天、科研机构、高校实验室、能源化工行业、各级特检院及无损检测公司等。满足无损检测行业各类标准自动化检测的需求并提供高效的产品和服务，持续为中国工业发展作出贡献。